ASML wil Instituut voor Nanolithografie

ASML wil samen met de Foundation for Fundamental Research on Matter (FOM), de Universiteit van Amsterdam, de Vrije Universiteit en de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO) het Instituut voor Nanolithografie (INL) oprichten. Dat maakte de fabrikant van chipmachines maandag bekend.